Evaporador resistivo para fabricación de películas metálicas delgadas

De Bajas Temperaturas
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La técnica de evaporación en vacío consiste en calentar una sustancia hasta que su presión de vapor alcance un valor suficiente como para evaporar una masa apreciable en tiempos de algunos minutos. Esto se realiza en una atmósfera de muy baja presión de manera que el camino libre medio en esta atmósfera sea de varios centímetros. En estas condiciones, el material evaporado puede viajar sin colisionar con otras moléculas hasta un sustrato más frío donde se deposita.

El evaporador resistivo disponible en BT consta de una sistema de vacío con bomba mecánica, difusora y trampa fría, que permiten evacuar una campana hasta presiones de unos 10^-6 torr. Posee dos navetas que se calientan eléctricamente y permiten calentar y evaporar dos materiales diferentes sin romper el vacío. Incluye un resonador de cuarzo que permite medir el espesor depositado durante la evaporación y un sistema que posibilita enfriar el sustrato utilizando nitrógeno líquido.