Sistema de litografía óptica UV

De Bajas Temperaturas
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Alineadora de máscaras para litografía óptica

Marca/Modelo: Suss MBJ4

Litografía óptica UV

Alineación < 1 micron

Resolución: 0.5 micron

Tamaño oblea: diámetro 100 mm

Opcion DUV disponible.