Sputtering

De Bajas Temperaturas
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Sistema marca AJA

4 cañones de sputtering en configuración paralela

capacidad de crecimiento en atmosfera inerte u oxidante hasta 800oC

Control computarizado de posición del sustrato para crecimiento de superredes

Presión base: 3*10-7 Torr

AJA.jpg


Sistema marca ALCATEL

3 cañones de sputtering en configuración paralela

capacidad de crecimiento en atmosfera inerte u oxidante hasta 650oC

Control computarizado de posición del sustrato para crecimiento de superredes

Presión base: 1*10-6 Torr

ALCATEL.jpg