Sputtering
De Bajas Temperaturas
Revisión del 12:40 25 feb 2013 de Jguimpel (discusión | contribuciones)
Sistema marca AJA
4 cañones de sputtering en configuración paralela
capacidad de crecimiento en atmosfera inerte u oxidante hasta 800oC
Control computarizado de posición del sustrato para crecimiento de superredes
Presión base: 3*10-7 Torr
Sistema marca ALCATEL
3 cañones de sputtering en configuración paralela
capacidad de crecimiento en atmosfera inerte u oxidante hasta 650oC
Control computarizado de posición del sustrato para crecimiento de superredes
Presión base: 1*10-6 Torr
